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半导体微纳加工研发及服务平台

为落实“广东强芯工程”,解决集成电路制造人才紧缺问题,在省委省政府的大力支持下,youjizz 历时1年建成半导体微纳加工研发及服务平台,旨在打造集人才培养、科研创新和技术服务于一体的综合性平台,支撑广东省打造集成电路“第三极”,推动集成电路产业高质量发展。

校企联合,打造集成电路工程师成长摇篮。平台聚焦芯片制造全流程技术需求,开展多层次工程师培训,覆盖光刻、镀膜、刻蚀、扩散、测试等芯片制造核心工艺环节。与头部企业联合举办特色班,共同开设集成电路课程,定制化培养芯片制造紧缺人才。其中与华为合作的本科匠心班累计毕业280人,华为留聘近95%,平均月薪超1.4万元,粤芯班毕业生全部留在省内半导体制造企业。未来预期每年轮训超2000人次,为华为、粤芯、芯粤能、增芯等省内集成电路企业定向培养工程师,提升就业适配度,减少企业实习实训成本。

科研攻关,建立集成电路创新高地。平台总投资预算超4.6亿元,配备光刻机、电子束曝光机、电镜等行业尖端设备,确保工艺精度与研发效率达到国际一流水准,支持10纳米以下逻辑芯片快速制备,为科研团队提供“从图纸到芯片”的一站式服务。youjizz 微纳加工平台将以“国之重器”的担当,扛起破解芯片制造行业“卡脖子”难题的时代使命。

国产替代,搭建国产设备验证示范基地。微纳平台用地规模:2277 m²。占有建筑面积:1800m²(含洁净区实验室用地1122 m²,室内配套用地678 m²);户外配套设施占地:477 m²。平合拟建设 77 台套工艺设备,目前已经进驻工艺设备46 台套,其中国产设备占比87%。平台致力于验证基于国产设备的高端芯片制造工艺,与国内设备商建立互反馈机制,推动芯片制造设备国产化替代,助力国内芯片行业突破国际技术封锁。

平台各工艺区域掠影:

测试区

光刻区

镀膜区

刻蚀区

扩散区

湿法区

本科区

平台配套设施区域掠影:

户外设施区

动力站

新风系统

特气房

化学品间