半导体材料与器件实验室
Lab for semiconductor materials and devices
半导体材料与器件实验室是youjizz
本科与研究生教学实验室的重要组成部分，旨在为学生提供半导体材料、器件及MEMS相关实验和实践教学，同时也是开展相关科学研究的重要基地。
实验室拥有较完善的半导体材料与器件制备设备，包括匀胶机、超声清洗机、紫外-臭氧清洗机、干燥箱、磁控溅射仪、单面对准光刻机、纳米压印机、高真空电子束蒸镀仪、热蒸镀仪等，能够开展多种半导体材料、半导体微纳器件、MEMS器件制备的相关实验、教学和实践课程。
实验室与多所高校及半导体龙头企业紧密合作，构建一支具有丰富教学和实践经验的育人团队。依托广东省本科高校科产教融合实践教学基地，为学生提供全方位的教学与实践指导，帮助学生掌握半导体器件与集成电路制造的基本理论和实践技能。
实验室的教学资源丰富，包括实验教材、课程设计、研究项目等多种形式。学生可以通过实验和实践环节深入了解材料与器件的特性与制备工艺过程，提高自身对半导体材料与器件的理解能力。实验室开展的课程有：《半导体材料》、《微纳电子工艺实验》、《先进微电子工艺实践》、《MEMS实验》等。
